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光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
無塵凈化車間的空調(diào)機組的選擇：1.空調(diào)機組要根據(jù)末端需要的冷量總數(shù)得出空調(diào)機組的冷量。2.末端空調(diào)箱的選擇就要根據(jù)潔凈等級風(fēng)量還有房間內(nèi)消防熱負(fù)荷風(fēng)量來確定送風(fēng)量。 空調(diào)機組選型步驟：A．估算或計算冷負(fù)荷估算總冷負(fù)荷，或通過有關(guān)的負(fù)荷計算法進行計算。B．估算或計算熱負(fù)荷估算總熱負(fù)荷，或通過有關(guān)的負(fù)荷計算法進行計算。C．初定機組型號根據(jù)總冷負(fù)荷，初次選定機組型號及臺數(shù)D、確定機組型號根據(jù)總熱負(fù)荷，校核初定的機組型號及臺數(shù)。并確定機組型號。
無塵車間潔凈室氣流流型的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1、無塵車間潔凈室的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合下表所示的要求，空氣潔凈度等級要求嚴(yán)于4級時，應(yīng)采用單向流，空氣潔凈度等級為4級-5級時，應(yīng)采用單向流，空氣潔凈度等級為6級-9級時，應(yīng)采用非單向流。2、無塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻3、無塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。
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